微机电系统（MEMS）：元器件、电路及系统集成技术和应用

Main Authors: 美 乔杜里 Choudhary, Vikas ((美)维卡斯·乔杜里，(加)克日会托夫·印纽斯基主编); 加 印纽斯基 Iniewski, Krzysztof
Group Author: 周海宪 (译); 程云芳 (译); 周华伟 (译)
Published: 机械工业出版社
Publication Dates: 2020
Call Number: TH-39/2246