工程纳米测量基础 = Fundamental principles of engineering nanometrology

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Bibliographic Details
Main Authors: 英 利奇 Leach, Richard ((英)理查德·利奇著)
Group Author: 袁道成 (译); 朱学亮 (译); 刘乾 (译); 何华彬 (译)
Published: 浙江大学出版社
Publisher Address: 杭州
Publication Dates: 2017
Literature type: Book
Language: Chinese
Edition: 2版
Subjects:
Carrier Form: 300页: 图 ; 24cm
ISBN: 978-7-308-17563-0
Index Number: TB22
CLC: TB22
Call Number: TB22/2946
Contents: 有书目
本书共分十章,内容包括:微纳米和先进制造中的测量技术、测量基础知识、精密测量仪器设计原则、干涉法长度溯源、位移测量、表面形貌测量仪器等。