Studies on plasma assisted molecular beam epitaxial growth of GaN-based multilayer heterostructures on Si for photodetector application = 硅基氮化镓光电探测器的多层异质外延生长研究
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Main Authors: | |
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Published: |
江苏大学出版社
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Publisher Address: | 镇江 |
Publication Dates: | 2020 |
Literature type: | Book |
Language: | English |
Series: |
光电材料器件测试及控制技术系列丛书 |
Subjects: | |
Carrier Form: | 195页: 图 ; 22cm |
ISBN: | 978-7-5684-1424-1 |
Index Number: | TN215 |
CLC: | TN215 |
Call Number: | TN215/8881 |
Contents: |
有书目 (第155-193页) 本书为英文图书,研究了氮化铝缓冲层对氮化镓外延层表面形貌和晶体质量的影响,讨论了氮化镓异质外延生长中镓扩散到硅衬底中并溶解形成镓-硅合金的途径,最终经过优化得以实现利用等 |