Studies on plasma assisted molecular beam epitaxial growth of GaN-based multilayer heterostructures on Si for photodetector application = 硅基氮化镓光电探测器的多层异质外延生长研究

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Bibliographic Details
Main Authors: 郑益 (郑益著)
Published: 江苏大学出版社
Publisher Address: 镇江
Publication Dates: 2020
Literature type: Book
Language: English
Series: 光电材料器件测试及控制技术系列丛书
Subjects:
Carrier Form: 195页: 图 ; 22cm
ISBN: 978-7-5684-1424-1
Index Number: TN215
CLC: TN215
Call Number: TN215/8881
Contents: 有书目 (第155-193页)
本书为英文图书,研究了氮化铝缓冲层对氮化镓外延层表面形貌和晶体质量的影响,讨论了氮化镓异质外延生长中镓扩散到硅衬底中并溶解形成镓-硅合金的途径,最终经过优化得以实现利用等