光学薄膜厚度的光干涉测试方法
Saved in:
Main Authors: | |
---|---|
Published: |
科学出版社
|
Publisher Address: | 北京 |
Publication Dates: | 2019 |
Literature type: | Book |
Language: | Chinese |
Subjects: | |
Carrier Form: | 166页: 图,照片 ; 24cm |
ISBN: | 978-7-03-062302-7 |
Index Number: | TH744 |
CLC: | TH744.3 |
Call Number: | TH744.3/4323 |
Contents: |
有书目 光干涉计量测试技术是以波长为计量单位,是一种公认的高精度计量测试技术。干涉仪输出的是一幅干涉图,借助于数学物理模型,可以将干涉图与多种被测参数相联系,从而实现相关物理参数的测量。薄膜光学常数(折射率、消光系数)和厚度是薄膜设计和制备所必需的重要参数,其受制备工艺的影响不同而不同,因此要制备性能稳定的薄膜器件,提高生产制备的成品率,就必须精确地检测出各种制备工艺下薄膜器件的光学常数和厚度值。在国家国际科技合作计划及省部级科技计划项目的支持下,以高精度的光干涉测试为原理,开展了以多种光干涉测试方法对光学薄膜厚度的测量研究,形成了基于高精度光干涉测试技术的薄膜厚度测量系列方法。 |