光学薄膜厚度的光干涉测试方法

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: 苏俊宏 (著)
Published: 科学出版社
Publisher Address: 北京
Publication Dates: 2019
Literature type: Book
Language: Chinese
Subjects:
Carrier Form: 166页: 图,照片 ; 24cm
ISBN: 978-7-03-062302-7
Index Number: TH744
CLC: TH744.3
Call Number: TH744.3/4323
Contents: 有书目
光干涉计量测试技术是以波长为计量单位,是一种公认的高精度计量测试技术。干涉仪输出的是一幅干涉图,借助于数学物理模型,可以将干涉图与多种被测参数相联系,从而实现相关物理参数的测量。薄膜光学常数(折射率、消光系数)和厚度是薄膜设计和制备所必需的重要参数,其受制备工艺的影响不同而不同,因此要制备性能稳定的薄膜器件,提高生产制备的成品率,就必须精确地检测出各种制备工艺下薄膜器件的光学常数和厚度值。在国家国际科技合作计划及省部级科技计划项目的支持下,以高精度的光干涉测试为原理,开展了以多种光干涉测试方法对光学薄膜厚度的测量研究,形成了基于高精度光干涉测试技术的薄膜厚度测量系列方法。