半导体集成电路制造手册 = Semiconductor manufacturing handbook

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Bibliographic Details
Main Authors: (Geng, Hwaiyu) 耿怀渝 (Geng, Hwaiyu) ((美)耿怀渝(Hwaiyu Geng)主编)
Group Author: (美) 耿怀渝 (译)
Published: 电子工业出版社
Publisher Address: 北京
Publication Dates: 2022
Literature type: Book
Language: Chinese
Edition: 2版
Series: 经典译丛微电子学
Subjects:
Carrier Form: 34,753页: 图 ; 26cm
ISBN: 978-7-121-42940-8
Index Number: TN430
CLC: TN430.5-62
Call Number: TN430.5-62/1493
Contents: 本书内容涵盖集成电路芯片、MEMS、传感器和其他电子器件的设计与制造过程,相关技术的基础知识和实际应用,以及对生产过程的计划、实施和控制等运营管理方面的考虑。