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微机电系统和微结构及其在航天中的应用 = MEMS and microstructures in aerospace applications

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Bibliographic Details
Main Authors: (Osiander, Robert) 奥西安德 (Osiander, Robert) (著); (Darrin, M. Ann Garrison) 达林 (Darrin, M. Ann Garrison) (著); (Champion, John L.) 钱皮恩 (Champion, John L.) (著)
Group Author: 尤政 (译)
Published: 清华大学出版社
Publisher Address: 北京
Publication Dates: 2013
Literature type: Book
Language: Chinese
Subjects:
微电子技术 > 应用 > 航天工程 > 研究
微型 > 机械元件 > 应用 > 航天工程 > 研究
Carrier Form: 17,247页: 图 ; 26cm
ISBN: 978-7-302-33485-9
Index Number: V4
CLC: V4
Call Number: V4/2813
Contents: 本书共16章，主要内容包括：概论，微机电系统技术在航天任务中的应用前景，MEMS加工技术，空间环境因素对MEMS技术的影响，空间辐射影响和微机电系统，MEMS技术在空间系统的应用，微加工技术在科学仪器方面的应用，微机电系统在航天器通信中的应用，航天器热控制中的微系统，航天器制导、导航和控制中的微系统，微推进技术，空间应用的MEMS封装技术，关键性空间应用的处理与污染控制考虑，MEMS应用的材料选择，基于空间的MEMS设计和应用的可靠性测试，航天微机电系统与微结构的保障方法等。

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