Screen Library电子电镀铜柱及其酸洗缓蚀剂技术
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| Main Authors: | |
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| Published: |
科学出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2019 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Series: |
信息材料与应用技术丛书 |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 173页: 图 ; 24cm |
| ISBN: | 978-7-03-060972-4 |
| Index Number: | TG146 |
| CLC: |
TG146.1 TG174.42 |
| Call Number: | TG146.1/7242 |
| Contents: | 本书共6章，主要针对电镀前处理(酸洗)和电镀铜柱(定向电镀)制作技术，以电沉积金属和腐蚀电化学理论为基础，陈述三唑化合物作为酸洗缓蚀剂的评价方法、缓蚀机理等，针对电镀铜柱制作特点阐释整平剂、加速剂和抑制剂之间的协同交互作用规律以及电镀填盲孔制备原理和工艺特点等。 |