Screen Library超精密气浮定位工作台技术：气浮系统动力学与控制 = Research on ultraprecise positioning stage with gas-lubricated bearings：dynamics and control of the gas-lubricated system
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| Main Authors: | ; ; |
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| Published: |
华中科技大学出版社
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| Publisher Address: | 武汉 |
| Publication Dates: | 2008 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 223页: ; 21cm |
| ISBN: | 978-7-5609-4610-8 |
| Index Number: | TN965 |
| CLC: | TN965 |
| Call Number: | TN965/7294 |
| Contents: | 本书内容包括：超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术；超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值计算的理论与方法；超精密气浮定位工作台的动力学建模及其动态特性分析；超精密定位工作台的定位运动分析及其控制方法研究。 |