微机电系统设计:建模、仿真与可视化
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Main Authors: | ; |
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Published: |
科学出版社
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Publisher Address: | 北京 |
Publication Dates: | 2010 |
Literature type: | Book |
Language: | Chinese |
Series: |
半导体科学与技术丛书 |
Subjects: | |
Carrier Form: | 278页: 图 ; 25cm |
ISBN: | 978-7-03-029220-9 |
Index Number: | TM380 |
CLC: | TM380.2 |
Call Number: | TM380.2/2240 |
Contents: | 本书建立了一种微电子机械器件的设计方法,对现有设计系统功能作了一些重要的补充和完善,其基本思路是在设计阶段,当版图和工艺设计完成后,通过建立运动部件的动态模型,进行三维可视化仿真,形成器件在虚拟环境中运行,从而对器件的运动功能进行评测。 |