Screen Library微机电系统设计：建模、仿真与可视化
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| Main Authors: | ; |
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| Published: |
科学出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2010 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Series: |
半导体科学与技术丛书 |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 278页: 图 ; 25cm |
| ISBN: | 978-7-03-029220-9 |
| Index Number: | TM380 |
| CLC: | TM380.2 |
| Call Number: | TM380.2/2240 |
| Contents: | 本书建立了一种微电子机械器件的设计方法，对现有设计系统功能作了一些重要的补充和完善，其基本思路是在设计阶段，当版图和工艺设计完成后，通过建立运动部件的动态模型，进行三维可视化仿真，形成器件在虚拟环境中运行，从而对器件的运动功能进行评测。 |