硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法GB4061-83

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Bibliographic Details
Corporate Authors: 冶金工业部 (提出); 峨嵋半导体材料厂 (起草)
Published: 中国标准出版社
Publisher Address: 北京
Publication Dates: 1984
Literature type: Book
Language: Chinese
Subjects:
Carrier Form: 2页: ; 30cm
Index Number: T
CLC: T-652.1
Call Number: T-652.1/3813-434
Contents: 中华人民共和国国家标准 1984年12月1日实施