Screen Library真空镀膜原理与技术
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| Main Authors: | |
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| Published: |
科学出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2014 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 213页: 图，照片 ; 24cm |
| ISBN: | 978-7-03-039898-7 |
| Index Number: | TN305 |
| CLC: | TN305.8 |
| Call Number: | TN305.8/0201 |
| Contents: | 本书阐述了真空镀膜的应用，以及真空镀膜薄膜在基体表面生长的过程，探讨了薄膜生长的影响因素。具体介绍了真空镀膜的各种方法，包括真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀以及化学气相沉积的原理、特点、装置及应用技术等。 |