Screen Library微电子制造技术概论 = IC fabrication
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| Main Authors: | ; ; |
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| Published: |
清华大学出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2010 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Series: |
微电子与集成电路技术丛书 |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 17,164页: 图 ; 26cm |
| ISBN: | 978-7-302-20818-1 |
| Index Number: | TN405 |
| CLC: | TN405 |
| Call Number: | TN405/1228 |
| Contents: | 本书介绍集成电路制造技术，涉及制造流程和各具体的单项工艺技术，内容包括：概论、各单项工艺技术、直接与流程实施相联系的集成电路制造作业调度技术等。 |