VLSIの薄膜技術

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Bibliographic Details
Main Authors: 伊藤隆司 (著); 石川元 (著); 中村宏昭 (著)
Published: 丸善
Publisher Address: 東京
Publication Dates: 1986.9
Literature type: Book
Language: Japanese
Series: 電子材料シリーズ
Subjects:
Carrier Form: xii, 250p: 図表 ; 22cm
ISBN: 4621031120
Index Number: TN47
CLC: TN47
Call Number: WJTN47/2247
Contents: 各章末:文献