Screen Library多晶硅和石英玻璃的联合制备法
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| Main Authors: | |
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| Published: |
冶金工业出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2008 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 160页: 图 ; 26cm |
| ISBN: | 978-7-5024-4403-7 |
| Index Number: | TQ171 |
| CLC: | TQ171.73 |
| Call Number: | TQ171.73/0434 |
| Contents: | 本书以传统的多晶硅和石英玻璃的生产方法为基础，介绍了多晶硅和石英玻璃联合制备法的工艺过程、主要设备、操作要点及影响产品质量的因素，提出了降低多晶硅生产成本的几个途径，并总结了相关安全生产的知识。 |