光学自由曲面的CGH补偿干涉测量技术
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Main Authors: | ; ; ; |
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Published: |
科学出版社
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Publisher Address: | 北京 |
Publication Dates: | 2020 |
Literature type: | Book |
Language: | Chinese |
Series: |
光学与光子学丛书 |
Subjects: | |
Carrier Form: | 204页: 图,照片 ; 25cm |
ISBN: | 978-7-03-065692-6 |
Index Number: | O43 |
CLC: | O43 |
Call Number: | O43/7281 |
Contents: | 本书系统论述计算机生成全息图(CGH)补偿器在光学自由曲面的干涉测量中的应用技术。全书共6章,第1~3章介绍光学自由曲面的基本概念及应用现状,详细论述CGH补偿器设计方法及其在离轴凸非球面和自由曲面测量实践中的应用;第4、5章论述CGH与子孔径拼接方法结合,用于大口径柱面反射镜和凸非球面镜的测量,详细介绍了基于双回转CGH的可变补偿原理与设计方法;第6章论述新型可编程CGH的补偿检测方法,使用空间光调制器和高次非球面补偿器实现大范围像差补偿以及加工过程中局部大误差的自适应补偿。 |