Screen Library薄膜技术与应用
Saved in:
| Main Authors: | ; |
|---|---|
| Published: |
西北工业大学出版社
|
| Publisher Address: | 西安 |
| Publication Dates: | 2016 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Series: |
西北工业大学研究生高水平课程体系建设丛书 |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 222页: 图 ; 26cm |
| ISBN: | 978-7-5612-4739-6 |
| Index Number: | TB43 |
| CLC: | TB43 |
| Call Number: | TB43/3114 |
| Contents: |
有书目（第217-222页） 本书为研究生高水平课程教材。全书主要内容包括真空技术基础、真空蒸发镀膜、分子束外延生长、溅射镀膜、激光脉冲沉积、离子镀和离子束沉积、化学气相沉积、原子层沉积（ALD）镀膜、溶液镀膜法和自组装膜等。 |