微机电系统设计与加工 = MEMS design and fabrication
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Group Author: | ; |
Published: |
机械工业出版社
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Publisher Address: | 北京 |
Publication Dates: | 2010 |
Literature type: | Book |
Language: | Chinese |
Series: |
国际机械工程先进技术译丛 |
Subjects: | |
Carrier Form: | 10,536页: 图 ; 27cm |
ISBN: | 978-7-111-28597-7 |
Index Number: | TM38 |
CLC: | TM38 |
Call Number: | TM38/8122 |
Contents: | 本书内容包括:MEMS中的材料、MEMS制造、LIGA及其微模压、基于X射线的加工、EFAB技术及其应用、用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀、聚合物微系统:材料和加工、光诊断方法考察微流道的入口长度、应用于航空航天的微化学传感器等。 |