Screen Library微机电系统设计与加工 = MEMS design and fabrication
Saved in:
| Main Authors: | |
|---|---|
| Group Author: | ; |
| Published: |
机械工业出版社
|
| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2010 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Series: |
国际机械工程先进技术译丛 |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 10,536页: 图 ; 27cm |
| ISBN: | 978-7-111-28597-7 |
| Index Number: | TM38 |
| CLC: | TM38 |
| Call Number: | TM38/8122 |
| Contents: | 本书内容包括：MEMS中的材料、MEMS制造、LIGA及其微模压、基于X射线的加工、EFAB技术及其应用、用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀、聚合物微系统：材料和加工、光诊断方法考察微流道的入口长度、应用于航空航天的微化学传感器等。 |