Screen Library微机电系统基础
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| Main Authors: | |
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| Group Author: | ; ; |
| Published: |
机械工业出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2017 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Series: |
国际制造业先进技术译丛 |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 13,394页: 图 ; 27cm |
| ISBN: | 978-7-111-55733-3 |
| Index Number: | TM38 |
| CLC: | TM38 |
| Call Number: | TM38/8122-1 |
| Contents: |
书名原文：MEMS: introduction and fundamentals 本书提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑等，还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。 |