集成电路制造技术教程 = Manufacture technology course of integrated circuit
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Main Authors: | |
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Published: |
清华大学出版社
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Publisher Address: | 北京 |
Publication Dates: | 2014 |
Literature type: | Book |
Language: | Chinese |
Subjects: | |
Carrier Form: | 315页: 图 ; 26cm |
ISBN: | 978-7-302-37032-1 |
Index Number: | TN405 |
CLC: | TN405 |
Call Number: | TN405/4453-2 |
Contents: | 本书共分为15章。前9章以常规平面工艺为主要教学内容,包括:集成制造技术基础;硅材料及衬底制备;外延生长工艺原理;氧化介质薄膜生长;半导体的高温掺杂;离子注入低温掺杂;薄膜气相淀积工艺;图形光刻工艺原理等。后6章包括:超大规模集成工艺;集成结构测试图形;电路管芯键合封装等。 |