Screen Library集成电路制造技术教程 = Manufacture technology course of integrated circuit
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| Main Authors: | |
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| Published: |
清华大学出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2014 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 315页: 图 ; 26cm |
| ISBN: | 978-7-302-37032-1 |
| Index Number: | TN405 |
| CLC: | TN405 |
| Call Number: | TN405/4453-2 |
| Contents: | 本书共分为15章。前9章以常规平面工艺为主要教学内容，包括：集成制造技术基础；硅材料及衬底制备；外延生长工艺原理；氧化介质薄膜生长；半导体的高温掺杂；离子注入低温掺杂；薄膜气相淀积工艺；图形光刻工艺原理等。后6章包括：超大规模集成工艺；集成结构测试图形；电路管芯键合封装等。 |