Screen Library高温SiC MEMS传感器的热电特性 = Thermoelectrical effect in SIC for high-temperature MEMS sensors
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| Group Author: | ; ; ; |
| Published: |
科学出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2022 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 10,133页: 图 ; 24cm |
| ISBN: | 978-7-03-072489-2 |
| Index Number: | TM54 |
| CLC: |
TM54 TH-39 |
| Call Number: | TM54/1243 |
| Contents: |
有书目 本书主要介绍了碳化硅 (SiC) 传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分，共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性；第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程，总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展；第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。 |
| Note: | 译者还有：刘文宝、刘红卫、李兴冀 |