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纳机电系统

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Bibliographic Details
Main Authors: 法 特拉夫格 Duraffourg, Laurent ((法)劳伦·特拉夫格(Laurent Duraffourg)，(法)朱利安·阿尔卡莫内(Julien Arcamone)著); 法 阿尔卡莫内 Arcamone, Julien
Group Author: 曹峥 (译)
Published: 机械工业出版社
Publisher Address: 北京
Publication Dates: 2018
Literature type: Book
Language: Chinese
Series: 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书
Subjects:
纳米技术 > 应用 > 机电系统 > 研究
Carrier Form: 134页: 图 ; 24cm
ISBN: 978-7-111-59127-6
Index Number: TM7
CLC: TM7
Call Number: TM7/2555
Contents: 本书介绍了MEMS（微机电系统）向NEMS（纳机电系统）的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及目前的制造工艺，为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述。

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