Screen Library一本书读懂芯片制程设备
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| Main Authors: | ; ; ; |
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| Published: |
机械工业出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2023 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Series: |
集成电路科学与技术丛书 |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 254页: 图，照片 ; 24cm |
| ISBN: | 978-7-111-72041-6 |
| Index Number: | TN430 |
| CLC: | TN430.505 |
| Call Number: | TN430.505/1148 |
| Contents: |
机工通信 本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备，并分析了芯片制程设备的国内外市场环境；然后，针对具体工艺技术涉及的设备，综述了设备原理及市场情况；最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。 |
| Note: | 编著者还有：姜晶、牛夷、王刚 |