一本书读懂芯片制程设备
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Main Authors: | ; ; ; |
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Published: |
机械工业出版社
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Publisher Address: | 北京 |
Publication Dates: | 2023 |
Literature type: | Book |
Language: | Chinese |
Series: |
集成电路科学与技术丛书 |
Subjects: | |
Carrier Form: | 254页: 图,照片 ; 24cm |
ISBN: | 978-7-111-72041-6 |
Index Number: | TN430 |
CLC: | TN430.505 |
Call Number: | TN430.505/1148 |
Contents: |
机工通信 本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备,并分析了芯片制程设备的国内外市场环境;然后,针对具体工艺技术涉及的设备,综述了设备原理及市场情况;最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。 |
Note: | 编著者还有:姜晶、牛夷、王刚 |