Screen Library钼靶材及其薄膜制备技术 = Preparation technology of molybdenum target and Its thin film
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| Main Authors: | ; ; ; |
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| Published: |
科学出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2022 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 10,189页: 图 ; 24cm |
| ISBN: | 978-7-03-070385-9 |
| Index Number: | TB383 |
| CLC: | TB383 |
| Call Number: | TB383/3742 |
| Contents: |
有书目 本书从钼粉的制备和靶材的热加工工艺入手，研究了原材料及还原工艺对钼粉性能的影响和烧结钼的热变形行为，分析了变形温度、应变速率、变形量等对其动态再结晶和静态再结晶的影响，确定了钼靶材的制备工艺，实现了钼靶材的微观组织调控。本书还研究了钼靶材的原始组织状态、单层钼薄膜的热处理、双层钼薄膜的结构调控和工艺优化，探究其对金属钼薄膜结构和光电性能的影响，从而制备出具有良好光电性能和高黏结性能的钼薄膜。 |
| Note: | 著者还有：陈艳芳、赵海丽、柳培、王爱琴、王文焱等 |