微机电系统概论

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Bibliographic Details
Main Authors: 邱丽芳 (邱丽芳,谢仲添主编); 谢仲添
Published: 冶金工业出版社
Publisher Address: 北京
Publication Dates: 2020
Literature type: Book
Language: Chinese
Subjects:
Carrier Form: 195页: 图 ; 26cm
ISBN: 978-7-5024-8015-8
Index Number: TM38
CLC: TM38
Call Number: TM38/7114
Contents: 普通高等教育“十三五”规划教材
有书目 (第191-195页)
本书是“微机电系统”课程的配套教材,系统介绍了微机电系统的特点及应用前景、微机电系统的材料、微机电系统的加工、微机电系统的组成、微机电系统的设计及测试,重点介绍了适合于
Note: 参编还有:李晓武、邹静、王晶琳、楚红岩