微机电系统概论
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Published: |
冶金工业出版社
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Publisher Address: | 北京 |
Publication Dates: | 2020 |
Literature type: | Book |
Language: | Chinese |
Subjects: | |
Carrier Form: | 195页: 图 ; 26cm |
ISBN: | 978-7-5024-8015-8 |
Index Number: | TM38 |
CLC: | TM38 |
Call Number: | TM38/7114 |
Contents: |
普通高等教育“十三五”规划教材 有书目 (第191-195页) 本书是“微机电系统”课程的配套教材,系统介绍了微机电系统的特点及应用前景、微机电系统的材料、微机电系统的加工、微机电系统的组成、微机电系统的设计及测试,重点介绍了适合于 |
Note: | 参编还有:李晓武、邹静、王晶琳、楚红岩 |