Screen LibraryMEMS多晶圆旋转机械：涡轮机、发电机和发动机 = Multi-wafer rotating MEMS machines：turbines、generator and engines
Saved in:
| Main Authors: | |
|---|---|
| Group Author: | |
| Published: |
国防工业出版社
|
| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2016 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 11,361页: 图 ; 24cm |
| ISBN: | 978-7-118-10543-8 |
| Index Number: | TM38 |
| CLC: | TM38 |
| Call Number: | TM38/3772 |
| Contents: |
装备科技译著出版基金 西安工业大学专著出版基金资助 有书目 本书从项目的实用性、科学性和工程原理上讲，第1章和第2章是微发动机项目的基础。第3章讨论了材料、结构和封装。第4章和第5章重点介绍MEMS工艺，特别介绍了用于加工像微发动机一样复杂的器件的工艺。第4章的重点为硅加工工艺，而第5章侧重于电镀磁性元件，如线圈和磁芯，以形成一个硅超级结构。第6章介绍了超高速空气轴承的研究进展。第7章介绍了热流体和涡轮机的研究工作。第8章研究了涉及MEMS发电机的电机学问题。最后，第9章的重点为MEMS尺度下的燃烧。 |