Smart sensors, actuators, and MEMS IV：4-6 May 2009, Dresden, Germany

Corporate Authors: SPIE Society; VDE/VDI-Gesellschaft für Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik; SPIE Europe
Group Author: Cané Carles; Shea Herbert R; Schmid Ulrich, Prof
Published: SPIE,
Publication Dates: c2009.
Call Number: TP212.6-532/S636/2009