Screen Library非硅MEMS技术及其应用
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| Main Authors: | ; ; |
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| Published: |
上海交通大学出版社
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| Publisher Address: | 上海 |
| Publication Dates: | 2015 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 279页: 图 ; 24cm |
| ISBN: | 978-7-313-12525-5 |
| Index Number: | TN4 |
| CLC: | TN4 |
| Call Number: | TN4/7201 |
| Contents: |
上海科技专著出版资金资助 上海交通大学学术出版基金资助项目 本书详细叙述了非硅MEMS技术的特点，非硅材料，三维非硅微加工新技术，新型非硅微传感器和微执行器等非硅MEMS技术及其应用。 |