Screen LibraryMEMS集成设计技术及应用 = MEMS integrated design technologies and their applications
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| Main Authors: | ; ; |
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| Published: |
国防工业出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2014 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Series: |
微米纳米技术丛书MEMS与微系统系列 |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 18,294页: 图 ; 24cm |
| ISBN: | 978-7-118-09583-8 |
| Index Number: | TN4 |
| CLC: | TN4 |
| Call Number: | TN4/4221-1 |
| Contents: |
国防科技图书出版基金 “十二五”国家重点图书出版规划项目 本书首先在简要介绍MEMS设计技术与设计工具基础之上，对MEMS设计的关键技术——系统级设计技术、器件级设计技术、工艺级设计技术以及各层级转换接口技术，进行了详细的分析与论述。然后对基于这些关键技术和泛结构化MEMS集成设计方法的MEMS Garden的特色做了介绍，并通过杠杆放大微加速度计说明了其操作方法。最后，通过大量不同种类的MEMS器件的设计实例验证了MEMS Garden的通用性与先进性。 |