先进光学元件微纳制造与精密检测技术 = Micro-nano manufacturing and precision measuring technology for advanced optics

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Bibliographic Details
Main Authors: 郭隐彪 (郭隐彪[等]编著); 杨平; 王振忠; 杨炜
Published: 国防工业出版社
Publisher Address: 北京
Publication Dates: 2014
Literature type: Book
Language: Chinese
Subjects:
Carrier Form: 19,320页: 图 ; 24cm
ISBN: 978-7-118-09613-2
Index Number: TH74
CLC: TH74
Call Number: TH74/0472
Contents: 国防科技图书出版基金
有书目
本书以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。
Note: 编著者还有:杨平、王振忠、杨炜