先进光学元件微纳制造与精密检测技术 = Micro-nano manufacturing and precision measuring technology for advanced optics
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Main Authors: | ; ; ; |
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Published: |
国防工业出版社
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Publisher Address: | 北京 |
Publication Dates: | 2014 |
Literature type: | Book |
Language: | Chinese |
Subjects: | |
Carrier Form: | 19,320页: 图 ; 24cm |
ISBN: | 978-7-118-09613-2 |
Index Number: | TH74 |
CLC: | TH74 |
Call Number: | TH74/0472 |
Contents: |
国防科技图书出版基金 有书目 本书以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 |
Note: | 编著者还有:杨平、王振忠、杨炜 |