触媒CVD(Cat‐CVD)の新展開 = =Recent developments of catalytic CVD (hot‐wire CVD):ラジカルを用いる新プロセス技術
Saved in:
Main Authors: | |
---|---|
Published: |
シーエムシー出版
|
Publisher Address: | 東京 |
Publication Dates: | 2013.11 |
Literature type: | Book |
Language: | Japanese |
Edition: | 普及版 |
Series: |
CMCテクニカルライブラリー. エレクトロニクスシリーズ ; 481 |
Subjects: | |
Carrier Form: | v, 276p: 挿図 ; 26cm |
ISBN: | 9784781307404 |
Index Number: | TB43 |
CLC: | TB43 |
Call Number: | WJTB43/5021 |
Contents: | 文献: 章末 |