Screen Library微电子制造科学原理与工程技术 = Fabrication engineering at the micro-and nanoscale
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| Main Authors: | |
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| Group Author: | ; |
| Published: |
电子工业出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2023 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Edition: | 2版 |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 11,595页: 图，照片 ; 26cm |
| ISBN: | 978-7-121-44746-4 |
| Index Number: | TN405 |
| CLC: | TN405 |
| Call Number: | TN405/4172-3 |
| Contents: |
国外电子与通信教材系列 本书覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等，新增了制作纳米集成电路及其他半导体器件所需的各种基本单项工艺，还介绍了22nm的FinFET器件、氮化镓LED及薄膜太阳能电池、新型微流体器件的制造工艺流程。 |