Screen Library微电子机械加工系统(MEMS)技术基础
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| Main Authors: | ; |
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| Published: |
冶金工业出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2009 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 194页: ; 20cm |
| ISBN: | 978-7-5024-4794-6 |
| Index Number: | TN405 |
| CLC: | TN405 |
| Call Number: | TN405/1424 |
| Contents: | 本书以各种微型阀、微型泵、微型马达、压电元器件的制造为目的，阐述其功能、所依据的物理原理及定律。本书还详细介绍了电学，热学和力学有限元方法的要领，相关软件的使用及硅片的加工处理方法。 |