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MEMS系统级建模 = System-level modeling of MEMS

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Bibliographic Details
Main Authors: 德 贝克唐德 Bechtold, Tamara ((德)塔玛拉·贝克唐德(Tamara Bechtold)，(德)加布里尔·施拉格(Gabriele Schrag)，冯丽红著); 德 施拉格 Schrag, Gabriele; 冯丽红
Group Author: 周再发 (译); 李伟华 (译); 黄庆安 (译)
Published: 东南大学出版社
Publisher Address: 南京
Publication Dates: 2020
Literature type: Book
Language: Chinese
Series: 微纳系统系列译丛
Subjects:
微机电系统 > 系统建模
Carrier Form: 11,12,442页: 图 ; 24cm
ISBN: 978-7-5641-7263-3
Index Number: TH
CLC: TH-39
Call Number: TH-39/7840
Contents: 本书全面论述了MEMS系统级建模技术，内容共分五部分。第一部分介绍了MEMS宏模型建模技术的理论基础，包括广义基尔霍夫网络理论基础，模型降阶技术的理论背景，系统级仿真算法以及协同仿真。第二部分介绍了基于集总单元的宏模型建模方法及其在电热执行器、RFMEMS器件、封装效应、分布效应上的仿真应用。第三部分介绍了各种数学模型降阶技术，包括基于矩匹配的线性模型降阶技术及其在电热模型中的应用，基于投影的模型降阶技术及其在微

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