氮化镓晶体生长技术 = Technology of gallium nitride crystal growth
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Group Author: | ; |
Published: |
中国石化出版社
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Publisher Address: | 北京 |
Publication Dates: | 2021 |
Literature type: | Book |
Language: | Chinese |
Subjects: | |
Carrier Form: | 232页: 图 ; 26cm |
ISBN: | 978-7-5114-6521-4 |
Index Number: | O614 |
CLC: |
O614.37 O782 |
Call Number: | O614.37/4122 |
Contents: |
西安石油大学“优秀学术著作出版基金”资助项目 有书目 本书内容涵盖了第三代宽禁带半导体材料GaN晶体的生长方法、原理及实现技术,包括GaN晶体的应用前景、GaN晶体的卤化物气相外延生长技术、籽晶法生长Gain晶体、真空辅助技术生长自支撑GaN衬底、卤化物气相外延生长非极性与半极性CaN晶体、金属有机化学气相外延的高速率生长CaN晶体、热氨法生长GaN晶体、高/低压环境下的GaN晶体生长技术、Na流量法生长大尺寸GaN技术简介及GaN晶体的表征方法等内容。 |