现代薄膜材料与技术

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Bibliographic Details
Main Authors: 蔡珣 (蔡珣,石玉龙,周建主编); 石玉龙; 周建
Published: 华东理工大学出版社
Publisher Address: 上海
Publication Dates: 2007
Literature type: Book
Language: Chinese
Subjects:
Carrier Form: 390页: ; 24cm
ISBN: 978-7-5628-2129-8
Index Number: TB383
CLC: TB383
TB43
Call Number: TB383/4911
Contents: “十一五”上海重点图书 材料科学与工程研究生教学用书
本书简要阐述了有关薄膜的物理化学基础理论以及真空和低温等离子体技术的相关知识,重点介绍了功能薄膜、超硬薄膜等一些新型薄膜材料的结构、性能、作用机理以及用途,分析了各种薄膜制备手段和材料表面改性技术的特点、原理和适用范围。