芯片制造:半导体工艺制程实用教程

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Bibliographic Details
Main Authors: 美 Zant Peter Van (著)
Group Author: 赵树武 (译); 朱践知 (译); 于世恩 (译)
Published: 电子工业出版社
Publisher Address: 北京
Publication Dates: 2004
Literature type: Book
Language: Chinese
Subjects:
Carrier Form: 14,411页: 图 ; 26cm
ISBN: 7-121-00414-3
Index Number: TN430
CLC: TN430.5
Call Number: TN430.5/4841
Contents: 国外电子与通信教材系列
本书的范围包含了整个半导体工艺的制作过程——从原材料硅片的准备到已完成封装测试的集成电路器件的工艺。书中详细介绍了半导体制造工艺的各个阶段,如测试、制造流程、商用集成电路类型以及封装种类等。另外,书中给每一章都安排了知识测试和复习总结纲要。