Screen Library微机电系统（MEMS）设计和原型设计指南 = A guide to hands-on MEMS design and prototyping
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| Main Authors: | |
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| Group Author: | ; ; |
| Published: |
国防工业出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2014 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Series: |
高新科技译丛微机电系列 |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 134页: 图 ; 24cm |
| ISBN: | 978-7-118-09690-3 |
| Index Number: | TM380 |
| CLC: | TM380.2-62 |
| Call Number: | TM380.2-62/0227 |
| Contents: |
装备科技译著出版基金 有书目 在本书中描述和分析了大量的设计案例，涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试；此外，在本书每章的最后，都描述了MEMS设计的实践和挑战，并提供了相关的解决方案。 |