微机电系统（MEMS）设计和原型设计指南 = A guide to hands-on MEMS design and prototyping

Main Authors: 美 库比 Kubby, Joel A. ((美)Joel A. Kubby著)
Group Author: 李会丹 (译); 袁晓伟 (译); 王景中 (译)
Published: 国防工业出版社
Publication Dates: 2014
Call Number: TM380.2-62/0227