硅微机械传感器

Main Authors: 荷 埃尔文斯波克 M. ((荷)M.Elwenspoek, (荷)R.Wiegerink著); 荷 Elwenspoek M.; 荷 威杰林克 R.; 荷 Wiegerink R.
Group Author: 陶家渠 (译); 李应选 (译); 万达 (译); 刘佑宝 (译)
Published: 中国宇航出版社
Publication Dates: 2003
Call Number: TP212/4120