Screen Library薄膜材料与薄膜技术
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| Main Authors: | |
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| Published: |
化学工业出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2008 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Edition: | 2版 |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 249页: 图 ; 26cm |
| ISBN: | 978-7-122-01314-9 |
| Index Number: | TB383 |
| CLC: |
TB383 TB43 |
| Call Number: | TB383/8823 |
| Contents: | 本书阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本原理和基本知识，介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征，对目前研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评述和展望。 |