Screen Library集成电路制造技术
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| Main Authors: | |
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| Published: |
化学工业出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2016 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 172页: 图 ; 24cm |
| ISBN: | 978-7-122-26284-4 |
| Index Number: | TN405 |
| CLC: | TN405 |
| Call Number: | TN405/4951 |
| Contents: | 本书全面、系统地介绍了集成电路制造技术，内容包括集成电路制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积、光刻、刻蚀及掺杂。书中简要介绍了集成电路制造的基本理论基础，系统地介绍了多晶半导体、单晶半导体与晶圆的制备，详细介绍了薄膜制备、光刻与刻蚀及掺杂等工艺。 |