Screen Library精“芯”打造：集成电路的制造设备
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| Main Authors: | ; |
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| Published: |
上海科学普及出版社
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| Publisher Address: | 上海 |
| Publication Dates: | 2022 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Series: |
“芯”路丛书 |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | 120页: 图，照片 ; 24cm |
| ISBN: | 978-7-5427-8275-5 |
| Index Number: | TN305 |
| CLC: | TN305-49 |
| Call Number: | TN305-49/4962 |
| Contents: |
附书目：118-119页 本书主要介绍集成电路制造的各种设备，以青少年熟悉的“武林高手”的形式介绍主要集成电路制造设备，如被称为集成电路制造的“四大金刚”离子注入机、光刻机、刻蚀设备和薄膜沉积设备。从这些设备在集成电路制造中的各自作用入手，图文并茂地围绕“精”这个字，体现集成电路制造设备的技术先进性、复杂度和极具挑战性的特点，一方面以青少年喜闻乐见的方式普及核心设备的基础知识，另一方面引发他们未来从事集成电路制造设备研发的兴趣。 |
| Note: | 复旦大学组编 |