Screen Library微机电系统（MEMS）：元器件、电路及系统集成技术和应用
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| Group Author: | ; ; |
| Published: |
机械工业出版社
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| Publisher Address: | 北京 |
| Publication Dates: | 2020 |
| Literature type: | Book |
| Language: | Chinese |
| Series: |
微纳机电系统先进技术研究与应用丛书 |
| Subjects: | |
| Carrier Form: | ⅩⅩⅢ,383页: 图 ; 26cm |
| ISBN: | 978-7-111-64958-8 |
| Index Number: | TH |
| CLC: | TH-39 |
| Call Number: | TH-39/2246 |
| Contents: |
书名原文取自版权页：Mems 有书目 本书共19章，分为两大部分:第1～9章为突破性技术部分，讨论各类新型微机电系统(MEMS)器件;第10-19章属应用部分，详细阐述以MEMS为基础的各种新颖的应用。本书各章都具有完整性，既可以单独阅读，也可与其他章节连贯阅读。 本书可供智能系统、军事、航空航天、消费电子、可穿戴设备、智能家居、系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域从事相关MEMS传感器、芯片及系统应用工作的工程师和设计师阅读，也可用作大专院校相关专业本科生、研究生和教师的参考书。 |