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MEMS可靠性 = MEMS reliability

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Bibliographic Details
Main Authors: 美 哈策尔 Hartzell, Allyson L. ((美)Allyson L. Hartzell，(美)Mark G. da Silva，(瑞士)Herbert R. Shea著); 美 席尔瓦 Silva, Mark G.; 瑞士 谢伊 Shea, Herbert R.
Group Author: 恩云飞 (译); 贾玉斌 (译); 黄钦文 (译)
Published: 电子工业出版社
Publisher Address: 北京
Publication Dates: 2012
Literature type: Book
Language: Chinese
Subjects:
微电子技术 > 可靠性 > 高等学校 > 教材
Carrier Form: 13,220页: 图 ; 26cm
ISBN: 978-7-121-18805-3
Index Number: TN4
CLC: TN4
Call Number: TN4/6082
Contents: 国外电子与通信教材系列
本书是关于MEMS可靠性的一本专著，主要内容包括：用于寿命预测的可靠性统计理论，MEMS产品设计阶段和制造阶段的失效模式，MEMS在使用中的失效模式，MEMS的失效根源及分析，MEMS的试验和鉴定标准，以及提升MEMS可靠性的工具和技术。

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